Схема типичной установки ионного легирования представлена на рисунке. Основными блоками имплантёра являются источник ионов, ионный ускоритель, магнитный масс-сепаратор, система сканирования пучком ионов и камера, в которой находятся бомбардируемые образцы. Ионы имплантируемого материала разгоняются в электростатическом ускорителе и бомбардируют